超高纯特气双层压缩空气管道施工工艺
2023-09-20
半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。
压缩空气管道生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。
常规压缩空气管道双层管弯头需定做，定做成品成本高，而且质量不易得到保证。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。在双层管道弯管时，于内外管间套不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，确保弯管过程中内外管的真圆度，使弯管质量达到要求。直管段外层管亦采用弹簧圈支垫，确保双层管夹层空间距离，起到双层管保护作用。弯管时不可取开管道两端的封头，弯头成型后角度偏差不大于5°。
半成品和成品的保护措施应及时有效，加工完成或焊接完成后及时将管子两端密封。焊接管子对口必须为正方并紧密连接，在对口位置所允许的圆角和倒为壁厚的十分之一，连接口需在钨极的中心位置。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。焊工施焊时，要求氩弧焊机焊接时电流稳定，焊接速度应保持均匀一致。
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